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    钛靶
    图片名称:钛 靶<br>添加时间:2016-05-05 1:16:54<br>浏览次数:0
    图片名称:钛 靶<br>添加时间:2016-05-05 1:16:41<br>浏览次数:0
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    1. 产品简介

    钛含量≥:99.8(%)杂质含量:0.02(%)     
    牌号: TA1,TA2,TA3,TC4(Ti6AL4V),GR1,GR2,GR3,GR5( Ti6AL4V)   

    钛圆靶 :技术条件:符合GB/T2695-1996,ASTMB348-97  

    钛板靶 :技术条件:符合GB/T3621-94,ASTM B265-93 

    用途:用于半导体分离器件、平面显示器、储存器电极薄膜、溅射镀膜、工件表面涂层,玻璃镀膜工业

    2. 产品规格

    圆靶:常用规格:60/65/95/100*30/32/40/45mm
    板靶:(8-25)mm * (150-300) mm * (1000-2500)mm
    管靶: 70mm * 7mm/10mm

    3. 材质
    TA1(Grade 1)、Zr1、Ta1、Mo1、Ni6


    4. 性能标准

    化学成分符合 GB/T 3621-2007,GB/T 2965-2007,GB/T 3625-2007 等标准。


    5. 标准值

    化学成分参考标准

    牌号

    Al

    V

    N≤

    C≤

    H≤

    Fe≤

    O≤

    其他元素(单一)

    其他元素(总和)

    TA1

     

     

    0.03

    0.08

    0.015

    0.20

    0.18

    0.1

    0.40

    TA2

     

     

    0.03

    0.08

    0.015

    0.30

    0.25

    0.1

    0.40

    TC4

    5.5-6.75

    3.5-4.5

    0.05

    0.08

    0.015

    0.30

    0.20

    0.1

    0.40


    机械性能参考标准

    牌号

    室温下力学性能,不小于

    抗拉强度

    屈服强度

    伸长率

    断面收缩率

    TA1

    240 MPa

    170MPa

    25%

    30%

    TA2

    345MPa

    275 MPa

    20%

    30%

    TC4

    895MPa

    825 MPa

    10%

    20%